芯片中通常需要很多層連接層,是因為有太多線路要連結在一起,在單層無法容納所有的線路下,就要多疊幾層來達成這個目標了。在這之中,不同層的線路會上下相連以滿足接線的需求。
如果要以油漆噴罐做精細作圖時,我們需先割出圖形的遮蓋板,蓋在紙上,接著再將油漆均勻地噴在紙上,待油漆乾后,再將遮板拿開。
不斷的重復這個步驟后,便可完成整齊且復雜的圖形。制造ic就是以類似的方式,藉由遮蓋的方式一層一層的堆疊起來。
芯片在制造過程中分為四種步驟,雖然實際制造時,制造的步驟會有差異,使用的材料也有所不同,但是大體上皆采用類似的原理。
這個流程和油漆作畫有些許不同,ic制造是先涂料再加做遮蓋,油漆作畫則是先遮蓋再作畫。
第一步,金屬濺鍍:將欲使用的金屬材料均勻灑在晶圓片上,形成一薄膜。
第二步,涂布光阻:先將光阻材料放在晶圓片上,透過光罩,將光束打在不要的部分上,破壞光阻材料結構。接著,再以化學藥劑將被破壞的材料洗去。
第三步,蝕刻技術:將沒有受光阻保護的硅晶圓,以離子束蝕刻。
第四步,光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便會在一整片晶圓上完成很多ic芯片,接下來只要將完成的方形ic芯片剪下,便可送到封裝廠做封裝。
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