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        段云同樣需要突破的還有光刻機(jī)技術(shù),而這其中。

        頂級的光源,高精度的鏡頭和精密儀器制作技術(shù)是EUV光刻機(jī)三大核心技術(shù),阿斯麥的光源來自收購的子公司Cymer;鏡頭來自深度綁定的蔡司;精密儀器則自身擁有多年的經(jīng)驗(yàn)和專利積累。

        其實(shí)從后世的芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展來看,國產(chǎn)光刻機(jī)在光源方面,以及光刻機(jī)對準(zhǔn)臺方面,都已經(jīng)得到了重大突破,達(dá)到了國際先進(jìn)水平,中國的極紫外光也是相當(dāng)厲害的,所以光源和工作臺并不是制約國產(chǎn)光刻機(jī)的最主要因素。

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        而真正制約國產(chǎn)光刻機(jī)發(fā)展的是光刻機(jī)的鏡頭鏡片,阿斯麥能夠成為光刻機(jī)領(lǐng)域的老大,其最核心的技術(shù)就是來自于蔡司的光學(xué)鏡片。

        德國蔡司是一家老牌光學(xué)廠商,早在1890年就開始生產(chǎn)相機(jī)鏡頭,這家公司在行業(yè)的影響力不僅僅是賣相機(jī)鏡頭,蔡司還從事高端光刻機(jī)高精度鏡頭制造,荷蘭阿斯麥公司制造的光刻機(jī)基本上都是采用蔡司鏡頭。

        早年的時(shí)候日本尼康佳能憑借很好的光學(xué)技術(shù)底子,也能生產(chǎn)出技術(shù)先進(jìn)的光刻機(jī),然而進(jìn)入90年代之后,隨著芯片制程技術(shù)的不斷提高,尼康佳能都曾經(jīng)嘗試去做更高的光刻機(jī)鏡頭,但結(jié)果都失敗了,只能放棄,在這個地球上,高精度的放大鏡只有德國蔡司鏡頭可以生產(chǎn)。

        光刻機(jī)對鏡頭的要求有多高,從他的技術(shù)構(gòu)造上就可以看出來。

        位于光刻機(jī)中心的鏡頭,有20多塊鍋底大的鏡片串聯(lián)組成,鏡片必須是高純度透光材料加高質(zhì)量拋光,而這種鏡面材質(zhì)要做到均勻,至少需要幾十年到上百年的技術(shù)積累。

        同一個鏡片,不同工人去打磨,光潔度相差10倍。

        德國蔡司公司里拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一職位。

        如果把阿斯麥光刻機(jī)的光學(xué)鏡片表面比作一個德國領(lǐng)土的話,那么這上面的建筑物誤差不能高于兩厘米,由此可見,這種光學(xué)鏡片的精度達(dá)到了令人匪夷所思的程度。

        現(xiàn)在蔡司是被阿斯麥公司控股,段云想從蔡司公司獲得高精度光刻機(jī)鏡片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持國產(chǎn)光學(xué)鏡片的研發(fā)工作。

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