所有的工人都在有條不紊的工作著,里面的機(jī)器看起來非常的先進(jìn)和精密,偌大的車間只有100多名工人,但根據(jù)田中信一的介紹,這個(gè)車間年產(chǎn)芯片能達(dá)到驚人的500萬枚。
芯片生產(chǎn)是個(gè)非常精密復(fù)雜的過程,車間里的每樣設(shè)備動(dòng)輒幾百萬,甚至上千萬美元,投入是相當(dāng)巨大的。
另外生產(chǎn)芯片的機(jī)器主要有光刻機(jī),等離子刻蝕刻機(jī),離子注入機(jī),單晶爐,晶圓劃片機(jī),晶片減薄機(jī),氧化爐,低壓化學(xué)氣沉淀積系統(tǒng),磁控濺射臺(tái),化學(xué)機(jī)械研磨機(jī),引線鍵合機(jī),以及探針測(cè)試臺(tái)等等。
這些設(shè)備都是當(dāng)前國際芯片產(chǎn)業(yè)最先進(jìn)的設(shè)備,而最為后世人所熟知的芯片生產(chǎn)設(shè)備,就當(dāng)屬光刻機(jī)了。
光刻機(jī)也叫做激光雕刻機(jī),是一種專門用來制造微小電子元件的設(shè)備,至于這個(gè)“微小”要微小到什么程度呢?就拿當(dāng)今世界上最流行的芯片工藝來說,7nm工藝大概要求大概是人類頭發(fā)絲的萬分之一,可以想象這其中的技術(shù)有多難了。
我國實(shí)際上也進(jìn)行過光刻機(jī)的研發(fā),并且這件事要追溯到半個(gè)世紀(jì)以前的60年代。當(dāng)時(shí),我國的專家們就已經(jīng)研發(fā)出了65型接觸式光刻機(jī),而當(dāng)時(shí)荷蘭ASML公司還要過5年才成立,說來也是諷刺,雖然我國當(dāng)時(shí)領(lǐng)先了荷蘭ASML五年,后來卻一落千丈,遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后世界水平。
原來在80年代,我國光刻機(jī)技術(shù)出現(xiàn)了一次“滑鐵盧”,不知道是科研資金不夠還是“飄了”,我國科研人員甚至一度放棄了光刻機(jī)的研究,并且倡導(dǎo)從國外進(jìn)口。可能當(dāng)時(shí)的人沒能考慮到進(jìn)口的弊端,于是自研光刻機(jī)的事就一直被擱置了起來,就連前面20年的研究成果,也都付諸東流了。
也許是中國半導(dǎo)體行業(yè)的不景氣,就連最后堅(jiān)守在光刻機(jī)行業(yè)的武漢三廠最終也選擇了轉(zhuǎn)行,并賣起了零食,后來,直到臺(tái)灣臺(tái)積電公司開發(fā)出了193nm光刻機(jī),國人才終于頓悟,直至今日,我國光刻機(jī)還是依靠進(jìn)口。
通過對(duì)田中信一的詢問,目前東芝電子廠已經(jīng)可以生產(chǎn)4~5英寸圓晶,0.9微米級(jí)別的芯片。
聽到田中的介紹,段云內(nèi)心有些暗暗吃驚。
其實(shí)早在來日本之前,段云對(duì)國內(nèi)目前的芯片產(chǎn)業(yè)技術(shù)情況已經(jīng)有了比較全面的了解。
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