7、晶片減薄機
設備功能:通過拋磨,把晶片厚度減薄。
主要企業品牌:
國際:德國gn公司、日本disco公司、日本公司、以色列公司。
國內:蘭州蘭新高科技產業股份有限公司、深圳方達研磨設備制造有限公司、深圳市金實力精密研磨機器制造有限公司、煒安達研磨設備有限公司、深圳市華年風科技有限公司。
8、氣相外延爐
氣相外延爐設備功能:為氣相外延生長提供特定的工藝環境,實現在單晶上,生長與單晶晶相具有對應關系的薄層晶體,為單晶沉底實現功能化做基礎準備。氣相外延即化學氣相沉積的一種特殊工藝,其生長薄層的晶體結構是單晶襯底的延續,而且與襯底的晶向保持對應的關系。
主要企業品牌:
國際:美國公司、美國gt公司、法國公司、法國as公司、美國公司、美國科特·萊思科公司、美國公司。
國內:中國電子科技集團第四十八所、青島賽瑞達、合肥科晶材料技術有限公司、北京金盛微納、濟南力冠電子科技有限公司。
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